[发明专利]测定装置及元件安装机有效
| 申请号： | 201880097900.9 | 申请日： | 2018-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN112739977B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 下坂贤司 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/26;H01L21/60;H05K13/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 测定装置具备：基部(13)，将输出平行光的投光部(14)和受光部(15)以预定的位置关系固定；及倾斜移动机构部(25)，通过使该基部倾斜移动而使上述平行光的照射角度变化。在使测定对象(42)的厚度处于平行光(16)的宽度内的位置处将上述测定对象保持为固定的姿势的状态下，一边通过利用上述倾斜移动机构部使上述基部倾斜移动而使上述平行光的照射角度变化，一边观测上述平行光中的被上述测定对象遮挡的部分的宽度的测定值增减并求出该测定值的最小值，基于该测定值的最小值来测定上述测定对象的厚度尺寸或厚度方向上的变形量，或者，基于上述测定值为最小时的上述基部的倾斜角度来测定所述测定对象的厚度方向上的倾斜角度。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 装置 元件 装机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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