[发明专利]离子植入系统、离子植入设备及抽取板有效
| 申请号： | 201880069665.4 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111279451B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用通过密度的变化来控制热梯度及热能流的构件的系统，特别是公开一种离子植入系统、离子植入设备及抽取板。本发明还公开制作所述构件的方法。所述构件是使用加成制造来制造。这样一来，可视需要来定制构件的不同区的密度。举例来说，可在构件的区的内部中形成格构图案，以减小所使用的材料量。这减小重量并且还降低所述区的导热性。通过使用低密度区及高密度区，可控制热能流以适应设计约束。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 系统 设备 抽取 | ||
【主权项】：
暂无信息
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