[发明专利]表面轮廓测量仪器及方法在审
| 申请号： | 201880060465.2 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN111133273A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·詹姆斯·莱纳德·贝内特;乔纳森·布伊;迈克尔·卡林顿·塞拉斯;托马斯·帕丁顿 | 申请（专利权）人： | 易高有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 英国曼彻*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及表面轮廓测量仪器(1)以及测量衬底(13)的表面轮廓的方法。所述表面轮廓测量仪器(1)包括：电磁探头(8)，该电磁探头(8)包括能操作成使其接近待测量的衬底(13)的表面的探头尖端；驱动单元(2)，该驱动单元能操作成产生穿透衬底(13)的表面的低频磁场；拾磁单元(3)，该拾磁单元能操作成检测磁场强度并输出磁场强度读数；以及计算单元(4)，该计算单元能操作成基于磁场强度读数确定表面轮廓测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 轮廓 测量 仪器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于易高有限公司，未经易高有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880060465.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
