[发明专利]透射光学系统的检查装置及使用该装置的膜缺陷检查方法在审
| 申请号： | 201880060324.0 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN111108367A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 吴世珍;李银珪;李太圭 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/896;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;姜香丹 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例所涉及的透射光学系统的检查装置包括：光源，用于向检查对象照射光；虚设结构物，布置在检查对象与所光源之间，并且包含预定形状的图案；以及图像获取设备，用于接收经过虚设结构物及检查对象的光并进行成像。通过虚设结构物，能够以高可靠性检测凹凸型缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 光学系统 检查 装置 使用 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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