[发明专利]透射光学系统的检查装置及使用该装置的膜缺陷检查方法

说明书

本发明的实施例所涉及的透射光学系统的检查装置包括：光源，用于向检查对象照射光；虚设结构物，布置在检查对象与所光源之间，并且包含预定形状的图案；以及图像获取设备，用于接收经过虚设结构物及检查对象的光并进行成像。通过虚设结构物，能够以高可靠性检测凹凸型缺陷。

技术领域

本发明涉及一种透射光学系统的检查装置及使用该检查装置的膜缺陷检查方法。更详细而言，涉及一种用于收集透射对象的光的透射光学系统的检查装置及使用该检查装置的膜缺陷检查方法。

背景技术

相位延迟器、偏光片或相位差膜等各种各样的光学膜在图像显示装置中被使用。另外，能够将各种有机和/或无机膜作为图像显示装置的功能层或保护层而插入。

然而，在制造所述光学膜时，起因于外部环境或膜制造装置等而有可能会发生各种各样的不良。例如，异物可能会从所述外部环境混入形成光学膜的树脂组合物，或者在层压、硬化或剥离等工序中发生气泡，或者发生如划伤等物理损坏。在这种情况下，由于上述原因而可能在光学膜的表面产生凹凸、突起等缺陷或不均匀。

在完成所述光学膜的制造之后，将包含多个所述缺陷的产品作为次品除去，并且为此应用缺陷检测装置进行检查工序。

随着图像显示装置的分辨率增加且薄型化，有必要精密地检测甚至微小的缺陷。例如，在韩国公开专利第10-2017-0010675号公报中公开了一种光学膜的检查装置，但在检测上述微细缺陷方面存在局限性。

发明内容

技术问题

本发明的目的在于提供一种具有提高的检测分辨率的透射光学系统的检查装置。

本发明的目的是提供一种具有提高的检测分辨率的膜缺陷检查方法。

用于解决问题的方案

1、一种透射光学系统的检查装置，包括：光源，用于向检查对象照射光；虚设结构物，布置在所述检查对象与所述光源之间，并且包含预定形状的图案；以及图像获取设备，用于接收经过所述虚设结构物及所述检查对象的光并进行成像。

2、根据上述项目1所述的透射光学系统的检查装置，所述检查对象包含凹凸。

3、根据上述项目2所述的透射光学系统的检查装置，所述虚设结构物包括线条图案或网格图案。

4、根据上述项目3所述的透射光学系统的检查装置，通过所述图像获取设备拍摄因所述凹凸而畸变的所述线条图案或所述网格图案的图像。

5、根据上述项目3所述的透射光学系统的检查装置，通过所述图像获取设备，拍摄在与所述凹凸对应的区域中产生亮度差的所述线条图案或所述网格图案的图像。

6、根据上述项目2所述的透射光学系统的检查装置，经过所述虚设结构物、所述凹凸及所述透镜的光的焦点在所述成像部偏移。

7、根据上述项目1所述的透射光学系统的检查装置，所述光源以与所述检查对象的移动方向成锐角倾斜的方式照射光。

8、一种膜缺陷检查方法，包括以下步骤：准备包含凹凸的检查对象及包含预定图案的虚设结构物；以依次透射所述虚设结构物及所述检查对象的方式照射光；以及收集透射所述检查对象的光并获取所述图案的图像。

9、根据上述项目8所述的膜缺陷检查方法，在所述虚设结构物的与所述凹凸对应的区域中通过所述图案的畸变的图像或亮度差来检测所述凹凸。

发明效果

在根据本发明的实施例的透射光学系统的检查装置中，能够在检查对象与光源之间布置虚设结构物。在所述虚设结构物包含线条图案并且所述对象包含凹凸的情况下，能够获取由于因所述凹凸而产生的折射所述线条图案变形或畸变的图像。由此，在所述对象包含微细凹凸的情况下也能够有效地识别是否存在缺陷。