[发明专利]应变仪和多轴力传感器在审

专利信息
申请号: 201880037802.6 申请日: 2018-07-05
公开(公告)号: CN110709682A 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 稻森道伯 申请(专利权)人: 美蓓亚三美株式会社
主分类号: G01L5/16 分类号: G01L5/16;G01L1/22
代理公司: 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 姜越;金雪梅
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在多轴力传感器用的应变仪中抑制由周围温度变化导致的测量误差。基材(121)具有安装于应变部件的承受载荷而产生应变的应变区域的感应区域(121s)和配置于应变区域的外侧的非感应区域(121n1、121n2),检测作用于应变部件的第1方向的载荷的第1惠斯通电桥电路(BC11)由第1方向应变感应元件(X
搜索关键词: 应变感应元件 固定电阻元件 应变部件 惠斯通电桥电路 非感应区域 感应区域 应变区域 多轴力传感器 材料形成 方向正交 应变仪 检测 基材 测量 配置
【主权项】:
1.一种应变仪,安装于承受载荷而产生应变的应变部件,并用于进行作用于所述应变部件的第1方向的载荷的基于第1惠斯通电桥电路的检测、和作用于所述应变部件的与第1方向正交的第2方向的载荷的基于第2惠斯通电桥电路的检测,其中,/n所述应变仪具备:/n基材;和/n电路图案,形成于所述基材上,/n所述基材具有安装于所述应变部件的承受载荷而产生应变的应变区域的感应区域、和配置于所述应变区域的外侧的非感应区域,/n所述电路图案包括构成第1惠斯通电桥电路的两个第1方向应变感应元件、构成第2惠斯通电桥电路的两个第2方向应变感应元件、以及构成第1惠斯通电桥电路的第1方向固定电阻元件与构成第2惠斯通电桥电路的第2方向固定电阻元件的至少一方,/n所述两个第1方向应变感应元件、所述两个第2方向应变感应元件、以及所述第1方向固定电阻元件与第2方向固定电阻元件的至少一方由相同材料形成,/n所述两个第1方向应变感应元件和所述两个第2方向应变感应元件形成于所述感应区域,所述第1方向固定电阻元件与第2方向固定电阻元件的至少一方形成于所述非感应区域。/n
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