[发明专利]183NM CW激光器及检验系统有效
| 申请号： | 201880015207.2 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN110352538B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 勇-霍·亚历克斯·庄;陆晓旭;张百钢;约翰·费尔登;弗拉基米尔·德里宾斯基 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/23;H01S3/16;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种激光器组合件通过下列步骤产生在约181nm到约185nm的范围中的连续波CW激光器输出光：从具有介于1μm与1.1μm之间的第一基频波长的第一基频CW光产生四次谐波光；通过混合所述四次谐波光与所述第一基频CW光而产生五次谐波光；及接着混合所述五次谐波光与具有介于1.26μm与1.82μm之间的第二波长的第二基频或信号CW光。使用使第一基频CW光循环通过第一非线性晶体的外部腔且通过引导所述四次谐波光通过所述第一非线性晶体而产生所述五次谐波光。使用使经循环第二基频或信号CW光通过第二非线性晶体的第二腔且引导所述五次谐波光通过所述第二非线性晶体而产生所述激光器输出光。 | ||
| 搜索关键词： | 183 nm cw 激光器 检验 系统 | ||
【主权项】：
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