[实用新型]一种软X射线显微成像装置有效
| 申请号： | 201822254814.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209656591U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 郑睿;刘炜;谢庆国;肖鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞派宁科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，真空靶室具有相对的两个出口，喷嘴设置于制冷腔上，真空单元包括第一真空泵和第二真空泵，第一真空泵和第二真空泵分别与真空靶室的两个出口连接；脉冲激光发生器发出的激光经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜，反射单元与真空靶室连通；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空靶室 喷嘴 样本室 真空泵 毛细玻璃管 反射单元 制冷腔 软X射线光源 真空单元 反射镜 探测器 连通 脉冲激光发生器 显微成像装置 激光聚焦镜 出口连接 激光单元 三维位移 软X射线 申请 探测 激光 聚焦 室内 焦点 节约 出口 | ||
【主权项】：
1.一种软X射线显微成像装置，其特征在于，所述软X射线显微成像装置包括：/n软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述真空靶室具有相对的两个出口，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，/n真空单元，所述真空单元包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别与所述真空靶室的两个出口连接；/n激光单元，所述激光单元包括脉冲激光发生器以及激光聚焦镜，所述脉冲激光发生器发出的激光经过所述激光聚焦镜后聚焦于所述喷嘴处；/n反射单元，所述反射单元具有第二反射镜，所述反射单元与所述真空靶室连通；/n样本室，所述样本室与所述真空靶室连通，所述样本室内容置毛细玻璃管，所述毛细玻璃管的位置与所述喷嘴以及所述反射镜的焦点对应；以及/n探测器，所述探测器与所述样本室连接并与所述毛细玻璃管的位置对应。/n
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