[实用新型]一种扫描电镜样品台装置有效
| 申请号： | 201822146084.6 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209388997U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 范海艳 | 申请（专利权）人： | 合肥国轩高科动力能源有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人： | 金宇平 |
| 地址： | 230000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台装置，包括样品座、多个样品载台和密封壳体，多个样品载台可拆卸地安装在样品座上，密封壳体包围在样品座外部，密封壳体内外气压差大于预定值时，密封壳体打开；本实用新型中，所提出的扫描电镜样品台装置，样品座位于密封壳体内，当密封壳体内充满惰性气体状态下，可避免样品座上的空气敏感型样品接触水分或空气受到污染破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 样品座 扫描电镜样品台 密封壳体 密封壳 本实用新型 体内 载台 惰性气体 样品接触 预定值时 可拆卸 气压差 包围 敏感 外部 污染 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜样品台装置，其特征在于，包括样品座(1)、多个样品载台(2)和密封壳体；多个样品载台(2)可拆卸地安装在样品座(1)上，密封壳体包围在样品座(1)外部，密封壳体内外气压差大于预定值时，密封壳体打开。
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