[实用新型]一种基板除尘机有效

专利信息
申请号: 201822126532.6 申请日: 2018-12-18
公开(公告)号: CN209349194U 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 王卫;苏喆;董想;蒋涛;刘洋 申请(专利权)人: 连云港康达智精密技术有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B13/00
代理公司: 连云港润知专利代理事务所 32255 代理人: 刘喜莲
地址: 222000 江苏省连*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种基板除尘机,该除尘机包括机箱,机箱内竖向设置有承载治具,承载治具上设置有便于基板放置的基板放置槽,承载治具的两侧均设置有除尘装置,除尘装置包括除尘架,除尘架的两端设置有行走机构,机箱的侧部设置有供行走机构上下移动的移动轨道;所述除尘架上依次设置有若干吹风机构,吹风机构包括空气喷嘴和驱动空气喷嘴转动的动力机构,空气喷嘴通过喷嘴座安装在动力机构的输出端,空气喷嘴外接气源。该除尘机自动化程度高、除尘噪音小,利用空气喷嘴对基板进行移动式吹风除尘,无需移动基板,大大提高了除尘效率。
搜索关键词: 空气喷嘴 除尘机 承载治具 除尘架 除尘装置 吹风机构 动力机构 行走机构 基板 机箱 基板放置槽 侧部设置 除尘效率 吹风除尘 基板放置 两端设置 上下移动 竖向设置 外接气源 依次设置 移动轨道 移动基板 对基板 喷嘴座 输出端 移动式 除尘 转动 噪音 自动化 驱动
【主权项】:
1.一种基板除尘机,其特征在于:该除尘机包括机箱,机箱内竖向设置有承载治具,承载治具上设置有便于基板放置的基板放置槽,承载治具的两侧均设置有除尘装置,除尘装置包括除尘架,除尘架的两端设置有行走机构,机箱的侧部设置有供行走机构上下移动的移动轨道;所述除尘架上依次设置有若干吹风机构,吹风机构包括空气喷嘴和驱动空气喷嘴转动的动力机构,空气喷嘴通过喷嘴座安装在动力机构的输出端,空气喷嘴外接气源。
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