[实用新型]一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件

摘要

本实用新型的一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，前蓄液腔体与隔液板之间形成前蓄液内腔，后蓄液筒和隔液板之间形成后蓄液内腔；前蓄液内腔和后蓄液内腔通过隔液板隔开，隔液板上设置有多个导流口；前蓄液内腔与进液口和出液口连通；后蓄液内腔通过导流口与前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过导流口流经前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。本实用新型的用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，通过冷却液体带走密封圈处或者其他周边工件处的热量，使之可长期工作在更高温度环境，有利于改善镀膜系统生长薄膜的质量。

主权项

1.一种用于平板式PECVD镀膜系统的水冷组件，其特征在于，包括水冷固定件单元、进液口和出液口；所述水冷固定件单元设置有前蓄液腔体、后蓄液筒和隔液板，所述前蓄液腔体与所述隔液板之间形成前蓄液内腔，所述后蓄液筒和所述隔液板之间形成后蓄液内腔；所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔通过所述隔液板隔开，所述隔液板上设置有多个导流口；所述前蓄液内腔与所述进液口和所述出液口连通；所述后蓄液内腔通过导流口与所述前蓄液内腔连通；液体从进液口注入并通过所述导流口流经所述前蓄液内腔和所述后蓄液内腔。