[实用新型]光罩盒缓冲定位支撑装置

摘要

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及光罩盒缓冲定位支撑装置。光罩盒具有放置光罩的空间，光罩盒内设有定位件，定位件用于光罩的定位，定位件包括基部、抵压部、抵持部和安装部，抵压部为从基部延伸的C形弧结构，抵持部置于抵压部的侧上方的香蕉弧线结构。通过上下交叉式定位件的结构，使光罩可以稳定的固定于光罩盒内，避免了光罩的滑动，同时上下盖上的定位件同时对光罩进行压紧，避免了光罩的上下振动，同时抵压部和抵持部与光罩的接触面均为弧面，减少了产生粉尘的可能性。

主权项

1.光罩盒缓冲定位支撑装置，光罩盒（1）具有放置光罩（3）的空间，所述光罩盒（1）内设有定位件（2），所述定位件（2）用于光罩（3）的定位，所述定位件（2）包括基部（21）、抵压部（22）、抵持部（23）和安装部（24），其特征在于，所述抵压部（22）为从基部（21）延伸的C形弧结构，所述抵持部（23）置于抵压部（22）的侧上方的香蕉弧线结构。