[实用新型]一种多介质漏率可调的漏率标定系统

摘要

本实用新型公开了一种多介质漏率可调的漏率标定系统，包括氦气瓶、氪气瓶、CF4气瓶和氙气瓶，氦气瓶、氪气瓶、CF4气瓶和氙气瓶分别通过气瓶阀门一、气瓶阀门二、气瓶阀门三和气瓶阀门四连接有压力表一和减压阀，减压阀的出口通过过滤器连接有恒温箱，恒温箱的第一个出口连接和真空泵，恒温箱和真空泵之间的管路上设有真空放气阀，真空放气阀连接有过滤器，真空泵的出口即为真空放气口；恒温箱的第二个出口连接过滤器一，过滤器一通过电动循环泵连接循环口一。本实用新型具有标定精度高的优点，解决了温度因素对标定结果的影响，具有性能安全可靠的优点，可选用多种介质作为标定介质，覆盖的范围广。

主权项

1.一种多介质漏率可调的漏率标定系统，其特征在于，包括氦气瓶（1）、氪气瓶（2）、CF4气瓶（3）和氙气瓶（4），所述的氦气瓶（1）、氪气瓶（2）、CF4气瓶（3）和氙气瓶（4）均连接有气瓶温度变送器（37），所述的氦气瓶（1）、氪气瓶（2）、CF4气瓶（3）和氙气瓶（4）分别通过气瓶阀门一（5）、气瓶阀门二（6）、气瓶阀门三（7）和气瓶阀门四（8）连接有压力表一（9）和减压阀（11），所述减压阀（11）的出口通过过滤器二（13）连接有恒温箱（33），所述恒温箱（33）的第一个出口连接和真空泵（25），所述恒温箱（33）和真空泵（25）之间的管路上设有真空放气阀（22），所述真空放气阀（22）连接有过滤器三（23），所述真空泵（25）的出口即为真空放气口（39）；所述恒温箱（33）的第二个出口连接过滤器一（31），所述过滤器一（31）通过电动循环泵（32）连接循环口一（40），所述循环口一（40）通过集气箱（36）连接循环口二（41），所述循环口二（41）与恒温箱（33）的第三个出口连接，所述恒温箱（33）的第四个出口即为管路排气口（42），所述的集气箱（36）连接有标定件（38）。/n