[实用新型]化学机械式研磨装置的调节器有效
| 申请号： | 201821811123.3 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209110819U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 金泰贤 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械式研磨装置的调节器，化学机械式研磨装置的调节器包括：旋转部；加压部，其配备于旋转部的上部，选择性地向旋转部施加轴向加压力；测量部，其配备于加压部与旋转部之间，在将加压部施加的加压力传递给旋转部的同时测量加压力；调节盘，其结合于旋转部的下部，以被加压力加压的状态，在借助于旋转部而旋转的同时对研磨垫进行改质。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转部 加压力 机械式研磨 调节器 加压部 测量 施加 本实用新型 配备 调节盘 研磨垫 改质 轴向 加压 传递 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械式研磨装置的调节器，作为化学机械式研磨装置的调节器，其特征在于，包括：旋转部；加压部，其配备于所述旋转部的上部，选择性地向所述旋转部施加轴向加压力；测量部，其配备于所述加压部与所述旋转部之间，在将所述加压部施加的所述加压力传递给所述旋转部的同时测量所述加压力；调节盘，其结合于所述旋转部的下部，以被所述加压力加压的状态，在借助于所述旋转部而旋转的同时对研磨垫进行改质。
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