[实用新型]砷烷电子气的供应系统有效
| 申请号： | 201821791191.8 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN209144273U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 赵青松;宁红锋;董辉;南建辉;孟亚飞;彭小磊 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C25B1/00 | 分类号： | C25B1/00;C25B9/08;C25B15/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;梁文惠 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种砷烷电子气的供应系统。该供应系统包括电解法制砷烷的电解单元，电解单元包括：电解槽，电解槽包括电解产生包含砷烷和氢气的阴极室、电解产生氧气的阳极室；阴极气体输送管路，与阴极室相连；阳极气体输送管路，与阳极室相连；阴极气体输送管路上设置有第一气体浓度检测器，供应系统还包括氢气供应单元，氢气供应单元与阴极气体输送管路的第一接口相连，第一气体浓度检测器位于第一接口的上游。将电解单元的阴极室产生包含砷烷和氢气的电子气，通过第一气体浓度检测器检测电子气中砷烷的浓度，根据砷烷浓度大小调节氢气供应单元提供的氢气量，进而得可以满足半导体工艺对于砷烷电子气的要求，进而可以直接应用于半导体工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 砷烷 电子气 供应系统 气体浓度检测器 氢气供应单元 电解单元 输送管路 阴极气体 阴极室 电解 半导体工艺 氢气 电解槽 阳极室 本实用新型 大小调节 阳极气体 氢气量 输送管 氧气 检测 上游 应用 | ||
【主权项】：
1.一种砷烷电子气的供应系统，所述供应系统包括电解法制砷烷的电解单元，所述电解单元包括：电解槽，所述电解槽包括电解产生包含砷烷和氢气的阴极室(11)、电解产生氧气的阳极室(12)；阴极气体输送管路(20)，与所述阴极室(11)相连；阳极气体输送管路(30)，与所述阳极室(12)相连；其特征在于，所述阴极气体输送管路(20)上设置有第一气体浓度检测器(21)，所述供应系统还包括氢气供应单元(1)，所述氢气供应单元(1)与所述阴极气体输送管路(20)的第一接口相连，所述第一气体浓度检测器(21)位于所述第一接口的上游。
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