[实用新型]一种高效的靶材加工用清洗装置有效
申请号: | 201821734000.4 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN208991371U | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 王永超 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;F26B23/04 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 边延松 |
地址: | 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高效的靶材加工用清洗装置,属于靶材加工清洗技术领域,其技术方案要点是,包括壳体、清洗腔室和烘干腔室,清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器,浸没清洗器包括超声防水探头和连接板,超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球,浸没清洗器的一侧设置有放置装置,放置装置包括固定板,固定板的上表面固定连接有档条,档条的两侧均对称加工有卡槽,卡槽的底部与固定板的上表面相互焊接,清洗腔室的右侧固定连接有隔板,烘干腔室的内侧壁固定连接有烘干板,该清洗装置通过设置清洗腔室使得靶材清洗更加高效,通过烘干腔室实现了烘干靶材的效果,便利了整个靶材加工工作。 | ||
搜索关键词: | 靶材加工 清洗腔室 烘干腔室 清洗装置 固定板 清洗器 浸没 放置装置 上表面 探头 靶材 超声 档条 卡槽 防水 隔板 技术方案要点 本实用新型 对称加工 清洗技术 烘干板 空心球 连接板 内侧壁 烘干 侧壁 壳体 内壁 焊接 清洗 便利 | ||
【主权项】:
1.一种高效的靶材加工用清洗装置,包括壳体(1)、清洗腔室(2)和烘干腔室(3),其特征在于:所述清洗腔室(2)的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器(5),所述浸没清洗器(5)包括超声防水探头(51)和连接板(53),所述超声防水探头(51)的右侧固定连接有强化空心球(52),所述超声防水探头(51)和连接板(53)通过强化空心球(52)相互连接,所述连接板(53)与清洗腔室(2)内侧壁通过螺栓固定连接,所述浸没清洗器(5)的一侧设置有放置装置(4),所述放置装置(4)包括固定板(41)和脚柱(44),所述固定板(41)的上表面固定连接有若干个档条(42),若干个所述档条(42)的两侧均对称加工有卡槽(43),所述卡槽(43)的底部与固定板(41)的上表面相互焊接,所述脚柱(44)的一端与固定板(41)的底部固定连接,所述脚柱(44)的另一端与清洗腔室(2)的内壁底部固定连接,所述清洗腔室(2)的右侧固定连接有隔板(7),所述清洗腔室(2)与烘干腔室(3)通过隔板(7)相互隔开,所述隔板(7)的右侧固定连接有烘干板(8)。
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