[实用新型]一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针有效

专利信息
申请号: 201821639601.7 申请日: 2018-09-24
公开(公告)号: CN209086291U 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 刘烽;郭云静 申请(专利权)人: 河北西五科技有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 066000 河北省秦皇岛市经*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型涉及一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针,包括电磁铁、支撑架、自锁紧抓手、绝缘安装块、弹簧探针。电磁铁固定在支撑架上,绝缘安装块两端分别安装电磁铁和自锁紧抓手,弹簧探针用自锁紧抓手固定并穿过支撑架的导向孔。通过给电磁铁通电、断电可以控制电磁铁带动弹簧探针下降和上升,从而达到测试过程中弹簧探针与半导体晶圆接触,非测试状态下探针与半导体晶圆分离的目的。
搜索关键词: 电磁铁 半导体晶圆 弹簧探针 支撑架 自锁紧 抓手 电磁铁驱动 绝缘安装块 测试针 探针 本实用新型 控制电磁铁 测试过程 测试状态 导向孔 中弹簧 断电 通电 穿过
【主权项】:
1.一种电磁铁驱动的半导体晶圆测试针,其特征在于:包括:支撑架(1)、电磁铁(2)、绝缘安装块(3)、自锁紧抓手(4)、弹簧探针(5);其中电磁铁(2)固定在支撑架(1)上,绝缘安装块(3)安装在电磁铁(2)的伸缩杆上,自锁紧抓手(4)安装在绝缘安装块(3)的另一端,弹簧探针(5)安装在自锁紧抓手(4)上。
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