[实用新型]真空蚀刻装置有效
| 申请号： | 201821629755.8 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN208980797U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谢南海;杨小东;李延奇 | 申请（专利权）人： | 广东达源设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523419 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空蚀刻装置的改进。其结构包括机体，机体上设有输送轮组、喷淋结构，其特征在于：所述输送轮组包括相互对应上轮组和下轮组，在上轮组上方设有真空吸管，所述真空吸管通过支撑块连接于上轮组上方，真空吸管通过连接管与真空吸管工作泵浦连接。其优势在于：1、所述的上轮组与下轮组均采用耐酸碱材料制成，增加使用寿命。2.真空吸管通过支撑块连接于上轮组上方，与待生产板的接触面大大减少，高度保护待生产板表面并预防了待生产板运动轨迹偏移的隐患。3.真空吸管底面两边设有小孔，中间设有长条孔，而真空吸管在负压状态下充分抽取待加工板表面的蚀刻液，均匀待加工板板边与板中间部位的蚀刻速率，从而阻止“水池效应”的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 真空吸管 上轮 生产板 输送轮组 真空蚀刻 下轮 蚀刻 板中间部位 本实用新型 耐酸碱材料 负压状态 喷淋结构 使用寿命 水池效应 运动轨迹 长条孔 工作泵 加工板 连接管 蚀刻液 偏移 支撑 底面 小孔 抽取 两边 加工 预防 改进 | ||
【主权项】：
1.真空蚀刻装置，包括机体，机体上设有输送轮组、喷淋结构，其特征在于：所述输送轮组包括相互对应上轮组和下轮组，在上轮组上方设有真空吸管，所述真空吸管通过支撑块连接于上轮组上方，真空吸管通过连接管与真空吸管工作泵浦连接。
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