[实用新型]用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器有效
| 申请号： | 201821618109.1 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN209237921U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 郑小勇 | 申请（专利权）人： | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 汤婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市锦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器，包括反应腔，所述反应腔两端分别同轴密封连接于等离子发生器与冷却腔，所述反应腔侧壁至少设置有一个进气环，所述进气环与所述反应腔侧壁之间密封连接，所述进气环内部形成有环形静压腔，所述反应腔侧壁开设有多个连通所述环形静压腔的旋气嘴，多个所述旋气嘴沿所述反应腔圆周方向依次排列设置，所述冷却腔内部同轴设置有一反应腔清理环，所述反应腔清理环直径略小于所述反应腔直径，所述反应腔清理环清理所述反应腔内壁。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 反应腔侧壁 纳米材料 进气环 环形静压腔 气态前驱体 等离子气 反应器 冷却腔 气嘴 等离子发生器 形貌 本实用新型 反应腔内壁 粒径均匀 密封连接 同轴密封 同轴设置 依次排列 制备 连通 生产 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的ICP等离子气相反应器，其特征在于，包括反应腔，所述反应腔两端分别同轴密封连接于等离子发生器与冷却腔，所述反应腔侧壁至少设置有一个进气环，所述进气环与所述反应腔侧壁之间密封连接，所述进气环内部形成有环形静压腔，所述反应腔侧壁开设有多个连通所述环形静压腔的旋气嘴，多个所述旋气嘴沿所述反应腔圆周方向依次排列设置，所述冷却腔内部同轴设置有一反应腔清理环，所述反应腔清理环直径略小于所述反应腔直径，所述反应腔清理环清理所述反应腔内壁。
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