[实用新型]一种乙硼烷的尾气处理装置有效
| 申请号： | 201821616109.8 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208911771U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陈国富;龚施健;彭王生;郑亚平 | 申请（专利权）人： | 博纯材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18 |
| 代理公司： | 泉州市博一专利事务所 35213 | 代理人： | 洪渊源;郑庭山 |
| 地址： | 362617 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种乙硼烷的尾气处理装置，包括一个吸收塔，所述吸收塔的前端还设有一个预处理桶，该预处理桶内装有乙硼烷处理液，所述预处理桶上设有一个进气管和一个出气管，所述出气管与所述吸收塔的下部连接，所述预处理桶内还设有一个搅拌器。该实用新型的尾气处理装置，可提高乙硼烷尾气的处理效果，减少乙硼烷尾气的排放量，预处理桶内的乙硼烷处理液容易更换，且预处理桶内残留物容易倒出，方便操作，且降低了尾气处理装置的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 预处理桶 乙硼烷 尾气处理装置 吸收塔 出气管 处理液 尾气 方便操作 搅拌器 进气管 排放量 倒出 维护 | ||
【主权项】：
1.一种乙硼烷的尾气处理装置，包括一个吸收塔，其特征在于：所述吸收塔的前端还设有一个预处理桶，该预处理桶内装有乙硼烷处理液，所述预处理桶上设有一个进气管和一个出气管，所述出气管与所述吸收塔的下部连接，所述预处理桶内还设有一个搅拌器。
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