[实用新型]一种用于TMA缓冲装置的柜体有效
| 申请号： | 201821608973.3 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210353789U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 施胜利;陈菊;徐力 | 申请（专利权）人： | 至砾机电设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | A47B53/00 | 分类号： | A47B53/00;A47B87/00;A47B97/00 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人： | 刘君 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种用于TMA缓冲装置的柜体，其特征在于，包括：主柜体，用于容纳储罐与管路系统及固定走线；电控壳体，可拆分式的安装于所述主柜体的顶面的局部，其内用于设置电控系统；且主柜体与电控壳体之间的安装面的相应处分别设有用于走线的若干通孔；本实用新型和现有技术相比，将电控壳体与主柜体分别安装在独立的壳体内，并可拆卸式的相互连接，方便前期安装，且提高了设备整体的可移植性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 tma 缓冲 装置 | ||
【主权项】：
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