[实用新型]一种晶圆流片用质检装置

摘要

本实用新型涉及晶圆流片质检附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用质检装置，其能根据工作人员的需求对外壳的位置进行调节，以便对放大镜片的高度和角度进行调整，提高适应能力；同时方便在光线较暗的情况下进行使用，降低使用局限性；且减轻周围走动人员对检查人员产生的影响，并避免晃动的影像对检查人员造成的妨害，提高使用性；包括底座、工作台、支架、外壳和放大镜片；还包括两组调节件，支架包括两组下螺纹管、两组下螺纹杆和两组下滚珠轴承；还包括四组支撑杆、顶板、移动件，安装架和照明灯；还包括左挡板、右挡板和后挡板，左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上。

主权项

1.一种晶圆流片用质检装置，包括底座（1）、工作台（2）、支架、外壳（3）和放大镜片（4），工作台设置在底座顶端，支架设置在工作台顶端前半区域上，外壳上设置有安装孔，放大镜片设置在安装孔内；其特征在于，还包括两组调节件，支架包括两组下螺纹管（5）、两组下螺纹杆（6）和两组下滚珠轴承（7），工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有下安装槽，两组下滚珠轴承分别设置在两组下安装槽内，两组下螺纹管底端分别插入至两组下滚珠轴承内部，两组下螺纹杆底端分别插入并螺装在两组下螺纹管顶端内部，两组调节件分别设置在两组下螺纹杆顶端，且两组调节件分别与外壳左右两端连接；还包括四组支撑杆（8）、顶板（9）、移动件，安装架和照明灯（10），四组支撑杆分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，移动件设置在顶板底端，安装架设置在移动件上，照明灯设置在安装架底端；还包括左挡板、右挡板（11）和后挡板（12），左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上，且左挡板、右挡板和后挡板顶端分别与顶板底端左侧、右侧和后侧连接。