[实用新型]一种半导体生产的集成化密集废气处理器

摘要

本实用新型公开了一种半导体生产的集成化密集废气处理器，包括：除尘室、冷凝槽、过滤部和光解催化室，第二进气管另一端连接有水吸收室，所述水吸收室右端固定连接有第三进气管，第三进气管右侧固定连接有光解催化室，所述光解催化室内设置有若干催化设备，包括有触媒板、紫外线灯和催化剂网板，所述过滤部内设置安装有吸附层，所述过滤部上部设置有干燥层，干燥层内填充有干燥剂，所述过滤部上方固定安装有烟囱。该装置通过静电除尘、冷凝溶解、催化光解和物理吸附的方式来进行废气处理，多种方式组合使用可以更加全面有效的完成对于废气的处理；蜂窝状结构，内部填充有活性炭，通过蜂窝状的结构增加气体与活性炭的接触面积，提升吸附的效果。

主权项

1.一种半导体生产的集成化密集废气处理器，包括：除尘室(1)、冷凝槽(19)、过滤部(11)和光解催化室(3)，所述除尘室(1)上方固定安装有第二进气管(8)，第二进气管(8)另一端连接有水吸收室(2)，其特征在于：所述水吸收室(2)内均匀设置有若干分隔板(17)，所述冷凝槽(19)左侧固定安装有进气横管(18)，进气横管(18)右侧穿过除尘室水吸收室外壁(10)与第二进气管(8)连通，所述水吸收室外壁(10)右侧设置有若干分支，所述水吸收室(2)右端固定连接有第三进气管(13)，第三进气管(13)右侧固定连接有光解催化室(3)，所述光解催化室(3)内设置有若干催化设备，包括有触媒板(14)、紫外线灯(15)和催化剂网板(16)，所述过滤部(11)内设置安装有吸附层(20)。