[实用新型]一种用于集成电路芯片贴膜的真空吸附设备有效

专利信息
申请号: 201821405616.7 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN208622694U 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 徐传诚 申请(专利权)人: 深圳市湘零科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市罗*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种用于集成电路芯片贴膜的真空吸附设备,包括底板,所述底板的表面通过支柱连接有安装板,所述安装板内设有安装孔,所述安装孔内安装有第一吸盘,所述底板的表面还设有真空泵,所述真空泵的表面设有第一进气管和第二进气管,所述第一进气管通过管道与第一吸盘连接,本用于集成电路芯片贴膜的真空吸附设备,通过第一吸盘对贴膜进行吸附,然后在通过对第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆和第三电动伸缩杆的工作进行控制,从而把第二吸盘吸附的芯片移动到贴膜上,然后使用者通过对贴膜进行操作,从而对芯片进行贴膜作业,有效的防止了人工与芯片产生直接的接触,对芯片起到了保护的作用。
搜索关键词: 贴膜 底板 集成电路芯片 真空吸附设备 电动伸缩杆 进气管 芯片 吸盘 安装板 安装孔 真空泵 对贴 本实用新型 吸盘连接 吸盘吸附 吸附 移动
【主权项】:
1.一种用于集成电路芯片贴膜的真空吸附设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的表面通过支柱(2)连接有安装板(3),所述安装板(3)内设有安装孔(4),所述安装孔(4)内安装有第一吸盘(5),所述底板(1)的表面还设有真空泵(6),所述真空泵(6)的表面设有第一进气管(7)和第二进气管(15),所述第一进气管(7)通过管道与第一吸盘(5)连接,所述底板(1)通过第一电动伸缩杆(8)连接有第一连接块(9),所述第一连接块(9)通过第二电动伸缩杆(10)连接有第二连接块(11),所述第二连接块(11)通过第三电动伸缩杆(12)连接有安装块(13),所述安装块(13)内连接有第二吸盘(14),所述第二吸盘(14)通过管道与第二进气管(15)连接,所述底板(1)的表面设有控制开关组(16),所述控制开关组(16)的输出端电连接真空泵(6)、第一电动伸缩杆(8)、第二电动伸缩杆(10)和第三电动伸缩杆(12)的输入端。
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