[实用新型]气体传输装置有效
| 申请号： | 201821024715.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208779132U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 涂宏彬 | 申请（专利权）人： | 涂宏彬 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体传输装置，其主要包含：一气瓶；一电子式质量流量控制器，连接该气瓶；一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器；一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计。本实用新型的气体传输装置可以有效提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量。 | ||
| 搜索关键词： | 电子式 质量流量控制器 气体传输装置 本实用新型 质量流量计 气瓶 电性连接 管路连接 控制器 低挥发 输出量 压制 | ||
【主权项】：
1.一种气体传输装置，其特征在于，其包括：一气瓶；一电子式质量流量控制器，连接该气瓶；一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器；一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计。
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