[实用新型]气体传输装置

说明书

本实用新型提供一种气体传输装置，其主要包含：一气瓶；一电子式质量流量控制器，连接该气瓶；一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器；一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计。本实用新型的气体传输装置可以有效提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量。

技术领域

本实用新型是有关于一种气体传输装置，特别是有关于一种使用电子式质量流量控制器与电子式质量流量计的气体传输装置，可以有效提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量。

背景技术

在半导体制程(工艺)中，大部分的制程都需要各种不同气体的供应，所以在半导体的制程设备中，皆需要有气体输送设备来传输所需要的制程气体(processing gases)。传统的半导体气体供应设备使用典型气瓶柜(gas cabinet)，内部设计系以钢瓶结合多种控制阀，包括手阀(manual valve)、气动阀(pneumatic valve)、以及调压阀(pressureregulator)来完成气体输送的流量与压力控制，经由多阀管路的分配与输送，将相关的制程气体输送至使用端机台中以便进行相关制程。然而，设计对于低挥发蒸气压制程气体，例如SiH2Cl2、WF6、HF、Cl2、 Si2H6等，由于调压阀会限制了低挥发蒸气压制成气体的输出流量，会造成供应气体使用量上的限制。

为了解决上述问题，有需要提供一种气体传输装置，能提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量，以克服先前技术的缺点。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提出一气体传输装置，有关于一种使用电子式质量流量控制器与电子式质量流量计的气体传输装置，可以有效提升气瓶中低挥发蒸气压制程气体的输出量，能产生稳定且高品质的低挥发蒸气压制程气体来改善后段制程系统的制程品质。

为达本实用新型的主要目的，本实用新型提供一气体传输装置，主要包含：一气瓶；一电子式质量流量控制器，连接该气瓶；一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器；一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计。

根据本实用新型的一特征，该电子式质量流量控制器系一自动控制阀门。

根据本实用新型的一特征，该电子式质量流量控制器为数字式且该电子式质量流量计为数字式。

根据本实用新型的一特征，该电子式质量流量计的一输出端，连接数个制程系统。

根据本实用新型的一特征，还包含一压力感测器，连接于该电子式质量流量计与该些制程系统之间。

根据本实用新型的一特征，该质量流量控制器的精度在正负1％以内，线性度在正负 0.5％以内，再现性在正负0.2％以内，且反应时间在3秒以内；且该电子式质量流量计的精度在正负1％以内，线性度在正负0.5％以内，再现性在正负0.2％以内，且反应时间在3秒以内。

本实用新型的气体传输装置具有以下的功效：

1.可以提升低挥发蒸气压制程气体，例如SiH2Cl2、WF6、HF、Cl2、Si2H6等对制程系统供应的气体输出量。

2.可以对后段制程系统提供稳定输出的低挥发蒸气压制程气体。

附图说明

虽然本实用新型可表现为不同形式的实施例，但附图所示者及于下文中说明者为本实用新型的较佳实施例，并请了解本文所揭示者是考量为本实用新型的一范例，且并非意图用以将本实用新型限制于附图及/或所描述的特定实施例中。

图1为气体传输装置的一实施示意图。

符号说明：

10气瓶，20电子式质量流量控制器，

30电子式质量流量计，32输出端，