[实用新型]一种高温气相沉积炉体结构有效
| 申请号： | 201820292344.8 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN207828405U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王玉泉 | 申请（专利权）人： | 丹东英普朗特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高温气相沉积炉体结构，包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底内设置岩棉；所述不锈钢圈底上设置通孔；不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件；所述上圈与中圈间为上壁，所述上壁由两个纤维环组成；所述中圈与下圈间为下壁，所述下壁由两个纤维环组成；上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。本实用新型的优点是：炉体分段设置，并且，根据炉体温度的要求不同，可相应设置不同的厚度及形状；更换方便。 | ||
| 搜索关键词： | 纤维环 不锈钢圈 上圈 下圈 本实用新型 不锈钢环 轴向设置 沉积炉 高温气 体结构 炉体 上壁 下壁 定位套管 分段设置 螺杆穿套 螺丝组件 套装结构 通孔 岩棉 | ||
【主权项】：
1.一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底内设置岩棉；所述不锈钢圈底上设置通孔；不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件；所述上圈与中圈间为上壁，所述上壁由两个纤维环组成；所述中圈与下圈间为下壁，所述下壁由两个纤维环组成；上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
