[实用新型]气体管路结构有效
| 申请号： | 201820286311.2 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN207975473U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 苏信瑀;廖志朋 | 申请（专利权）人： | 苏信瑀 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 黄超;周春发 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型有关于一种气体管路结构，是一种提供加热后的特殊气体与化学气相沉积装置所产生的废弃混合的气体管路结构；本实用新型至少包括有一气管、一输气孔，以及一环体；藉此，本实用新型藉由在气管内加装气体流道与复数个气孔的硬体设计，有效使经过加热后的氮气与化学气相沉积装置的制程后所产生的废气于气管内混合，以避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部而减损气管的流通性，确实达到提升废气的流速以输出至废气处理器并提升气管的流通性的主要优势。 | ||
| 搜索关键词： | 气管 本实用新型 化学气相沉积装置 废气 气体管路 加热 氮气 废气处理器 管路结构 排气管路 气体流道 硬体设计 内混合 排气管 输气孔 复数 环体 加装 制程 沉积 粉尘 废弃 凝结 输出 | ||
【主权项】：
1.一种气体管路结构，其特征在于，至少包括有：一气管(11)，其内部开设有一容置空间(111)；一输气孔(12)，设置于该气管(11)的外管壁上且与该容置空间(111)相互贯通；以及一环体(13)，设置于该容置空间(111)，该环体(13)相对于该气管(11)径向方向环设有一气体流道(131)，而该环体(13)上环设有复数个与该气体流道(131)相互连通的气孔(132)，其中该气体流道(131)与该输气孔(12)相互贯通。
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