[实用新型]垂直度检测装置及垂直度检测系统有效
| 申请号： | 201820020765.5 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN207798027U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 于祥升 | 申请（专利权）人： | 青岛镭创光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01C15/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 邓超 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种垂直度检测装置及垂直度检测系统，涉及激光测量技术领域，该垂直度检测装置包括激光器、二维调整架、透明片和扩束镜，透明片的两个平行面的平行度小于设定阈值；激光器和扩束镜同轴设置，透明片设置于激光器和扩束镜之间；待测样品固定在二维调整架上，透明片的一个平行面与待测样品的检测面紧密接触；激光器发出的激光穿透透明片的两个平行面进入扩束镜，经扩束镜扩束放大后射出。本实用新型提供的垂直度检测装置及垂直度检测系统，可以简化操作过程，缩短检测时间，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扩束镜 透明片 垂直度检测装置 激光器 垂直度检测 本实用新型 二维调整架 待测样品 平行面 激光测量技术 简化操作过程 同轴设置 检测面 平行度 检测 扩束 射出 穿透 平行 激光 放大 | ||
【主权项】：
1.一种垂直度检测装置，其特征在于，包括激光器、二维调整架、透明片和扩束镜，所述透明片的两个平行面的平行度小于设定阈值；所述激光器和所述扩束镜同轴设置，所述透明片设置于所述激光器和所述扩束镜之间；待测样品固定在所述二维调整架上，所述透明片的一个平行面与所述待测样品的检测面紧密接触；所述激光器发出的激光穿透所述透明片的两个平行面进入所述扩束镜，经所述扩束镜扩束放大后射出。
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