[发明专利]一种快速优化激光诱导击穿光谱透镜距离的装置及方法

摘要

一种快速优化激光诱导击穿光谱透镜距离的装置及方法，属于等离子体发射光谱测量设备及方法技术领域，用于快速优化激光诱导击穿光谱透镜与样品表面距离。其技术方案是：汇聚透镜部分位于激光器与样品夹持部分之间，样品夹持在样品夹持部分中，收光部分与光谱仪相连接。汇聚透镜部分的转接板与激光器出光口相连接，四个滑动杆的上端与转接板连接，汇聚透镜镜圈圆周可以沿着四个滑动杆上下滑动，汇聚透镜固定在汇聚透镜镜圈中心部位，汇聚透镜镜圈与千分尺的手轮为联动连接。本发明调整精度高、成本低、体积小，可以达到最优化的LTSD，对改善光谱信号强度、烧蚀面积、烧蚀深度及光谱信号稳定性都有良好作用，提高了激光诱导击穿光谱测量精度。

主权项

1.一种快速优化激光诱导击穿光谱透镜距离的装置，其特征在于：它包括汇聚透镜部分（3）、样品夹持部分（4）、收光部分（5），汇聚透镜部分（3）位于激光器（2）出射的激光与样品夹持部分（4）之间，待测样品（20）夹持在样品夹持部分（4）中，收光部分（5）位于样品夹持部分（4）的一侧，收光部分（5）与光谱仪（7）相连接；汇聚透镜部分（3）包括转接板（10）、滑动杆（11）、汇聚透镜镜圈（12）、汇聚透镜（13）、千分尺固定架（14）、千分尺（15），转接板（10）为正方形平板，转接板（10）与激光器（2）的出光口相连接，转接板（10）的板面与激光器（2）的出光轴线垂直，转接板（10）的四角分别有螺孔，四个滑动杆（11）的上端有螺纹与转接板（10）的螺孔分别连接，汇聚透镜镜圈（12）圆周分别有四个滑动孔与四个滑动杆（11）下端垂直相对，汇聚透镜镜圈（12）圆周的四个滑动孔分别与四个滑动杆（11）下部为滑动配合，汇聚透镜（13）固定在汇聚透镜镜圈（12）中心部位，汇聚透镜镜圈（12）与千分尺（15）的手轮为联动连接，千分尺（15）安装在千分尺固定架（14）上，千分尺固定架（14）与样品夹持部分（4）固定连接。