[发明专利]一种挠性静电支撑加速度计在审
| 申请号： | 201811570337.0 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109490577A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 聂鲁燕;蒋效雄;李立勇;王鹏辉;周雨竹 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种挠性静电支撑加速度计，包括敏感表芯部件、底座、壳体、温度测试模块和密封环部件。敏感表芯部件由上、下定极板和石英摆片组成；石英摆片上的金膜作为电容动极板和与上、下定极板金膜形成一对施力电容和一对差分检测电容。上、下定极板和石英摆片同轴镜像安装，钎焊在一起，石英摆片固装在其间。电容位移检测电路、反馈控制电路以及静电力反馈执行电路完成差分电容的检测与加速度计的反馈控制，最终将检验质量拉回平衡位置。表体内部抽真空，降低气体分子布朗运动带来的热噪声。这种低膨胀系数材料+差动电容检测+静电施力设计使加速度计结构简单、稳定性高、噪声小，在高精度测量需求的任务中具有广泛应用。适用于微震测量、资源探测、地球物理领域，尤其适用于重力梯度仪水平张量测量或者低量程航天卫星变轨等惯性系统。 | ||
| 搜索关键词： | 石英摆片 加速度计 极板 静电支撑 敏感表 芯部件 金膜 挠性 施力 布朗运动 低膨胀系数材料 差动电容检测 差分检测电容 地球物理领域 反馈控制电路 加速度计结构 温度测试模块 电容动极板 高精度测量 静电力反馈 重力梯度仪 差分电容 电路完成 电容位移 反馈控制 惯性系统 航天卫星 检测电路 镜像安装 平衡位置 气体分子 资源探测 静电 电容 抽真空 低量程 量测量 密封环 热噪声 体内部 变轨 固装 壳体 拉回 钎焊 同轴 微震 底座 噪声 测量 | ||
【主权项】：
1.一种挠性静电支撑加速度计，其特征在于：包括敏感表芯部件、底座、壳体和密封环部件，敏感表芯部件由石英摆片、上定极板和下定极板组成，上、下定极板同轴镜像安装，在两定极板之间夹持石英摆片，敏感表芯部件的下定极板通过底座与外侧的壳体连接；密封环部件包括密封环和绝缘子，密封环安装在壳体的上端，多个绝缘子安装在密封环上，通过引线将敏感表芯部件的信号传输到加速度计外部。
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