[发明专利]快速高精度平面平行度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种快速高精度平面平行度测量装置及测量方法，测量装置包括测量机构、电荷放大差分自调整增益采样电路和采样控制及主处理器；测量方法包括：（ⅰ）装置的设置、（ⅱ）等效电路的形成、（ⅲ）测量以及（ⅳ）标定。本发明提供了一种快速高精度平行度测量装置及测量方法，通过中心电极和被测靶标之间的位置关系，能实现平行度的快速极高精度测定，适用于任何平面，无论平面材料，甚至玻璃板透明片面。有较广泛的应用，使用性较强；金属板平面可直接测量，非金属板可通过被测靶标即可，非接触式测量，避免了表面的划伤，能实现平行度的快速，极高精度测量测定。

主权项

1.一种快速高精度平面平行度测量装置，其特征在于：包括测量机构、电荷放大差分自调整增益采样电路和采样控制及主处理器（16）；所述测量机构包括设置于平台（1）上的测量基座（2）和高压直流电源（5），高压直流电源（5）的负极（7）与测量基座（2）的接线柱（6）通过导线（10）连接；所述测量基座（2）上设置有电极伸缩装置（3），中心电极（4）与电极伸缩装置（3）驱动轴连接，基准平面（8）和待测平面（9）放置于测量基座（2）上，且置于中心电极（4）下方；所述电荷放大差分自调整增益采样电路包括电流电压转换模块（11），差分采样电路和增益阻抗自动调整电路，增益阻抗自动调整电路由串联连接的采样门限控制电路（12）和多阻抗选择电路（13）组成；弱电流输入至电流电压转换模块（11）完成转化，经差分采样电路完成差分采样，差分采样第一通路输入至二级放大器（14），放大后电流经采样门限控制电路（12）进行电压等级判断，连通对应电压等级通路，并输入至多阻抗选择电路（13）激活相应的阻抗选择，连接对应阻抗通路，再输出至二级放大器（14）放大后输出，放大后的二级输出且通过AD转换器（15）与采样控制及主处理器（16）连接；差分采样第二通路通过反馈电流，消除误差。