[发明专利]电镀装置及电镀方法有效

专利信息
申请号: 201811518586.5 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN111304720B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 白蓉生;黄荣山;彭昶铭 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: C25D17/02 分类号: C25D17/02;C25D17/12;C25D7/00;C25D5/08
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张琳
地址: 中国台湾桃园市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 提供一种电镀装置,包含上槽体、阴极、第一阳极、第二阳极、下槽体、隔板、液体输送组件及管体。隔板做为区隔上槽体与下槽体,且具有至少一第一排水孔与至少一第二排水孔。另提供一种电镀的方法,包含将待镀物置于前述电镀装置,借由依序启闭第一排水孔与第二排水孔的方式进行电镀,使具有高纵横比的待镀物的通孔孔壁能均匀电镀。
搜索关键词: 电镀 装置 方法
【主权项】:
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