[发明专利]电镀装置及电镀方法有效
申请号: | 201811518586.5 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN111304720B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 白蓉生;黄荣山;彭昶铭 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/12;C25D7/00;C25D5/08 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张琳 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种电镀装置,包含上槽体、阴极、第一阳极、第二阳极、下槽体、隔板、液体输送组件及管体。隔板做为区隔上槽体与下槽体,且具有至少一第一排水孔与至少一第二排水孔。另提供一种电镀的方法,包含将待镀物置于前述电镀装置,借由依序启闭第一排水孔与第二排水孔的方式进行电镀,使具有高纵横比的待镀物的通孔孔壁能均匀电镀。 | ||
搜索关键词: | 电镀 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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