[发明专利]自动化边射型雷射双温同步检测分类设备在审
| 申请号： | 201811501733.8 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110538811A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 林奕良 | 申请（专利权）人： | 惠特科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/342 | 分类号： | B07C5/342;B07C5/36 |
| 代理公司： | 11100 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱丽华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种自动化边射型雷射双温同步检测分类设备，包括：一取料单元、一自动移载单元、一检测单元及一分晶单元。所述取料单元供置放一晶圆，所述晶圆包含有复数边射型的晶粒；所述自动移载单元包含有一本体、一第一取物机构、一第二取物机构及一第三取物机构，所述第一取物机构、第二取物机构及第三取物机构可沿一检测方向移动地设于所述本体；所述检测单元包含有沿所述检测方向配置的一第一检测区及一第二检测区，于第一检测区内设有一第一检测机构，于所述第二检测区内设有一第二检测机构、以及一控温装置，所述第二检测区的温度通过所述控温装置而异于所述第一检测区的温度；所述分晶单元供将检验过后的所述复数晶粒依其检验数据进行分类存放。 | ||
| 搜索关键词： | 取物机构 第二检测 检测方向 控温装置 取料单元 检测区 晶圆 射型 检测 分类存放 分类设备 复数晶粒 检验数据 同步检测 移载单元 晶粒 配置的 移动地 复数 雷射 双温 置放 自动化 检验 | ||
【主权项】：
1.一种自动化边射型雷射双温同步检测分类设备，其特征在于，包括：/n一取料单元，供置放一晶圆，所述晶圆包含有复数边射型的晶粒；/n一自动移载单元，包含有一本体、一第一取物机构、一第二取物机构及一第三取物机构，所述第一取物机构、所述第二取物机构及所述第三取物机构可沿一检测方向移动地设于所述本体；/n一检测单元，包含有沿所述检测方向配置的一第一检测区及一第二检测区，于所述第一检测区内设有一第一检测机构，于所述第二检测区内设有一第二检测机构、以及一控温装置，所述第二检测区的温度通过所述控温装置而异于所述第一检测区的温度；/n一分晶单元，供将检验过后的所述复数晶粒依其检验数据进行分类存放；/n其中，所述第一取物机构供将一所述晶粒由所述取料单元移置所述第一检测区，所述第二取物机构供将所述第一检测区检验完的晶粒移置所述第二检验区，所述第三取物机构供将所述第二检测区检验完的晶粒移置所述分晶单元。/n
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