[发明专利]微流体致动器在审
| 申请号： | 201811451909.3 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN111252727A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;蔡长谚 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B1/00;B81C1/00;F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微流体致动器，包含基板、腔体层、振动层、下电极层、压电致动层、上电极层、孔板层以及流道层。基板通过蚀刻制程形成出流孔洞、第一进流孔洞以及第二进流孔洞。腔体层形成于基板上，并通过蚀刻制程形成储流腔室。振动层形成于腔体层上。下电极层形成于振动层上。压电致动层形成于下电极层上。上电极层形成于压电致动层上。孔板层通过蚀刻制程形成出流口及进流口。流道层形成于孔板层之上，通过光刻制程形成出流通道及进流通道，并接合于基板。提供驱动电源至上电极层以及下电极层，以驱动并控制振动层产生上下位移，以完成流体传输。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 | ||
【主权项】：
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