[发明专利]一种多透镜阵列光轴垂直固化装置有效
| 申请号： | 201811387924.6 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109375331B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;莫德锋;张珏颖;吴家荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;B05C13/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管路对真空腔体抽气，使多透镜阵列的光轴垂直于透镜安装面，温控模块对固定透镜的环氧胶加温固化。该结构的优点在于充分利用真空吸附使透镜光轴自动垂直于安装面，从而解决微小型透镜阵列装配过程中无法高精度光轴垂直加温固化的问题。该结构通过真空吸附和温控的方式使多透镜阵列光轴高精度垂直加温固化，提高透镜组固化效率，该固化装置不会造成样品表面污染和表面损伤，特别适合于微小型透镜阵列高精度光轴垂直加温固化工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 阵列 光轴 垂直 固化 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)、温控模块(3)和真空排气管路(4)，其特征在于：所述的高导热上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1‑1)和定位螺纹孔(2‑1)螺接成真空密封腔体，上真空腔板(1)表面加工的真空排气孔阵列(1‑2)对多透镜组(5)进行吸附,多透镜阵列(5‑1)的上下表面压力差使多透镜阵列(5‑1)吸附于透镜组支架(5‑2)，实现多透镜阵列(5‑1)光轴垂直于透镜组支架(5‑2)内透镜安装面，下真空腔板(2)内部镂空为中空腔体(6),并且与真空排气管路(4)的排气管(4‑1)钎焊，实现整个腔体的真空抽气，其中流量调节阀(4‑2)控制气体抽速，多透镜阵列(5‑1)光轴垂直后进行环氧胶点胶，并置于温控模块(3)上，对光轴垂直后多透镜阵列(5‑1)进行环氧胶加温固化。
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