[发明专利]气体传输系统在审
| 申请号： | 201811384486.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111197698A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体传输系统，包括：气体箱，具有储存气体的多个储气室；多个腔室；气体传输管，一端与多个所述储气室连接，另一端与多个所述腔室连接，所述气体传输管包括：多个第一气体传输管，多个所述第一气体传输管的一端与多个所述储气室一一对应地连接；第二气体传输管，所述第二气体传输管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接，所述第二气体传输管的另一端与多个所述腔室连接，所述第二气体传输管的至少一部分的内径比所述第一气体传输管的内径大。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传输 系统 | ||
【主权项】：
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