[发明专利]一种石墨散热膜生产用真空碳化炉

摘要

本发明公开了一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，包括碳化炉支架，所述碳化炉支架的上端面安装有碳化炉外层，所述碳化炉外层外表面的一侧安装有温度传感器，所述碳化炉外层的上端面安装有冷却气体进口甲，所述冷却气体进口甲的一侧安装有冷却气体进口乙，所述冷却气体进口乙和冷却气体进口甲的一端安装有分流器，所述分流器的下方安装有冷却雾化装置，所述冷却雾化装置的一侧安装有自吸泵，所述冷却雾化装置的另一侧安装有冷却池。本发明通过雾化的水对碳化炉进行冷却，能够精准的控制炉内温度，通过氮气可以对碳化炉和石墨膜赋予保护层，通过螺旋电阻可以对炉内进行均匀加热，且加热所需时间短，从而提升石墨膜的品质和生产效率。

主权项

1.一种石墨散热膜生产用真空碳化炉，包括碳化炉支架(3)，其特征在于：所述碳化炉支架(3)的上端面安装有碳化炉外层(1)，所述碳化炉外层(1)外表面的一侧安装有温度传感器(2)，所述碳化炉外层(1)的上端面安装有冷却气体进口甲(14)，所述冷却气体进口甲(14)的一侧安装有冷却气体进口乙(23)，所述冷却气体进口乙(23)和冷却气体进口甲(14)的一端安装有分流器(45)，所述分流器(45)的下方安装有冷却雾化装置(10)，所述冷却雾化装置(10)的一侧安装有自吸泵(9)，所述冷却雾化装置(10)的另一侧安装有冷却池(12)，所述冷却池(12)一侧的端面安装有电子阀(13)，所述冷却池(12)的后端面安装有氮气生产装置(8)，所述碳化炉外层(1)另一侧的端面安装有密封盖连接件乙(31)，所述密封盖连接件乙(31)的前端面安装有密封盖连接件甲(17)，所述密封盖连接件甲(17)一侧的端面安装有碳化炉前盖(20)，所述碳化炉前盖(20)一侧的端面安装有金属密封环(19)，所述金属密封环(19)的内壁安装有密封金属板(18),所述碳化炉外层(1)的后端面安装有碳化炉密封后盖(30)，所述碳化炉密封后盖(30)的一侧安装有固定法兰(27)，所述固定法兰(27)的一端安装有U型管甲(5)，所述U型管甲(5)的一端安装有U型管乙(6)，所述U型管乙(6)的一端安装有迷宫水箱(49)，所述迷宫水箱(49)的一侧安装有真空压缩机(7)，所述U型管甲(5)的一侧安装有电控箱(4)，所述碳化炉外层(1)的内壁安装有螺旋电阻(21)，所述螺旋电阻(21)的外表面安装有石墨内胆(16)，所述石墨内胆(16)上端面安装有甲挡板(15)，所述甲挡板(15)的一侧安装有乙挡板(24)，所述石墨内胆(16)的下端面安装有出水口(22)，所述石墨内胆(16)的前端面安装有封板(32)，所述石墨内胆(16)的内壁安装有钨胆甲(25)，所述钨胆甲(25)的内壁安装有耐热合金钢(26)，所述耐热合金钢(26)的前端面安装有固定密封环(33)，所述耐热合金钢(26)的内壁安装有钨胆乙(29)，所述钨胆乙(29)的内壁安装有气口(28)。