[发明专利]用于毫米波分子光谱电池的气密密封包装有效
| 申请号： | 201811364120.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109799695B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | J·A·赫布萨摩;A·J·弗鲁林;S·J·雅各布斯 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张全信;董志勇 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的名称是用于毫米波分子光谱电池的气密密封包装。公开的实例提供充气光电池和制造充气光电池的方法(100)，其包括在第一基底中形成(102)腔，在腔的侧壁上形成(104)第一导电材料，在第一导电材料上形成(106)玻璃层，在第二基底的底面上形成(108)第二导电材料，蚀刻(110)第二导电材料以形成通过第二导电材料的孔径，在第二基底的顶面上形成(112)导电耦合结构，和将第二基底的底面的一部分结合(114)至第一基底的第一面的一部分以密封腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 毫米波 分子 光谱 电池 气密 密封 包装 | ||
【主权项】：
1.一种制造充气光电池的方法，所述方法包括：在第一基底的第一面中形成腔；在所述腔的至少一个侧壁和底部上形成第一导电材料；在所述第一导电材料上形成玻璃层；在第二基底的底面上形成第二导电材料；蚀刻所述第二导电材料以暴露所述第二基底的所述底面以形成通过所述第二导电材料的第一和第二间隔的孔径；在所述第二基底的顶面上形成第一和第二导电耦合结构；和将所述第二基底的所述底面的一部分结合至所述第一基底的所述第一面的一部分以密封所述腔。
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