[发明专利]一种清洗机用无底篮

摘要

本发明涉及一种清洗机用无底篮，属于单晶硅加工技术领域。该清洗机用无底篮，包括长方体状的支撑框架、支撑底架、和横杆，支撑底架水平设置在支撑框架的中下部，横杆水平设置在支撑框架上端与支撑底架之间，横杆至少为四根；支撑底架包括长方形底框和底杆，底杆均匀间隔的平行设置在长方形底框上；支撑底架中含有C，Cr，Si，Zn，Fe等原料；再通过熔炼、连铸连轧、热处理、喷涂耐腐蚀涂层等工艺，最终与支撑框架组装，制得清洗机用无底篮。本发明的清洗机用无底篮由于支撑框架底部没有网格状金属丝的阻挡，超声波直接对支撑底架上的硅片进行清洗，增强了超声波清洗机的超声效果，并且增强了清洗能力和效率，减少了清洗成本。

主权项

1.一种清洗机用无底篮，其特征在于：包括长方体状的支撑框架、支撑底架、和横杆，所述支撑底架水平设置在所述支撑框架的中下部，所述横杆水平设置在所述支撑框架上端与支撑底架之间，所述横杆至少为四根；所述支撑底架包括长方形底框和底杆，所述底杆均匀间隔的平行设置在所述长方形底框上；所述支撑底架中各组分的质量百分比成分为：C：0.02‑0.04%，Cr：0.01‑0.08%，Si：0.01‑0.02%，Mn：1.02‑1.05%，Zn：0.43‑0.55%，Cu：0.17‑0.31%，Ag：0.16‑0.18%，Au：0.02‑0.05%，Pt：0.03‑0.07%，Ni：0.15‑0.36%，W：0.05‑0.11%，Mo：0.05‑0.12%，Nd：0.02‑0.04%，Ce：0.01‑0.03%，Eu：0.01‑0.07%，Lu:0.31‑0.43%，Ti：0.57‑0.92%，碳化钨:0.13‑0.26%，余量为Fe；所述支撑底架的加工工艺包括以下步骤：（1）熔炼原料：按所述支撑底架预定的各成分的质量百分比将原料加入熔炉内，原料被熔炼形成合金溶液；（2）连铸连轧：将熔炼形成合金溶液送入连铸机进行连铸连轧制得管材；（3）将制得的管材根据支撑底架的需要进行切割，值得支撑底架用管材；（4）将支撑底架用管材进行焊接组装，值得支撑底架；（5）将支撑底架的焊接处进行打磨和抛光；（6）将打磨和抛光后的支撑底架进行热处理，具体工艺为：A、加热：将支撑底架加热至650‑660℃，并保温45‑50min；B、冷却：采用水冷以18‑22℃/s的冷却速率将支撑底架冷却至室温；C、一次回火：将支撑底架加热至600‑650℃回火45‑55min后，待温35‑45s，使支撑底架的温度均匀化，之后以8‑10℃/s的冷却速率风冷至室温；D、二次回火：将支撑底架加热至600‑650℃回火10‑15min后空冷至室温；E、淬火：将支撑底架进行淬火，支撑底架淬火保温温度为550℃±10℃，保温时间为1.5～2h；支撑底架淬火加热完成后快速放入水槽水冷10‑20分钟，冷却槽水温控制在25～30℃；（7）在热处理后的支撑底架表面喷涂耐腐蚀涂层，所述耐腐蚀涂层中各成分的质量百分比为：氧化锌3.13‑5.24％、锌粉1.33‑1.56％、氧化镁2.83‑3.12％、氯化镁1.35‑2.66％、环氧树脂0.23‑0.67％、聚氯乙烯树脂0.55‑0.86％、丁苯橡胶0.21‑0.45％、固化剂2.23‑3.67％，余量为氧化铝；（8）质量检验：用超声波无损探伤仪检测支撑底架内部是否有裂痕，如有裂痕则为废品，检验合格的为成品，包装入库。