[发明专利]一种用于环氧树脂封装片的激光切割系统及方法在审
| 申请号： | 201811161990.1 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109175729A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 陈畅;柳啸;唐立恒;杨深明;张红江;卢建刚;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于激光切割领域，具体涉及一种用于环氧树脂封装片的激光切割系统及方法。所述激光切割系统包括激光器、扩束镜、光斑整形系统、聚焦镜头、用于固定待切割工件的X‑Y运动载台，所述光斑整形系统包括可替换的平行六光点DOE光斑整形系统与竖直三光点DOE光斑整形系统，其中，激光器发出光束传输到扩束镜后，光束转化为平行光束，然后垂直射入光斑整形系统内，经过整形后得到适合焊接光斑，整形后的光束经由聚焦镜聚焦至环氧树脂样品表面上，瞬间气化材料，使基体材料分离，完成环氧树脂封装片的切割，通过光斑整形系统可将入射光束进行整形，即得到适合不同厚度环氧树脂封装片切割用的光斑，可有效的提高切割速度，以及切割质量，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 整形系统 环氧树脂封装 激光切割系统 切割 整形 激光器 扩束镜 环氧树脂样品 待切割工件 工作效率 光束传输 基体材料 激光切割 聚焦镜头 平行光束 气化材料 入射光束 运动载台 聚焦镜 可替换 光点 射入 竖直 焊接 平行 垂直 聚焦 转化 | ||
【主权项】：
1.一种用于环氧树脂封装片的激光切割系统，其特征在于，包括激光器、扩束镜、光斑整形系统、聚焦镜头、用于固定待切割工件的X‑Y运动载台，其中，所述激光器出光，光束经扩束镜准直后到达光斑整形系统，由光斑整形系统对光束进行光斑整形，完成光斑整形的光束经聚焦镜头聚焦后对X‑Y运动载台上的待切割工件进行切割；所述光斑整形系统包括可替换的平行六光点DOE光斑整形系统与竖直三光点DOE光斑整形系统；其中，所述平行六光点DOE光斑整形系统用于将入射光的光斑整形为平行六光点分布的，所述竖直三光点DOE光斑整形系统用于将入射光的光斑整形为竖直三光点分布。
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