[发明专利]一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法有效
| 申请号： | 201811112655.2 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN110938863B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吴迪;姜振虎;赵晶;陈信;梁雨东;邓建忠;曲翔 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温状态下更换LPCVD炉体内部弥散管的方法，使用弥散管夹取器，该弥散管夹取器具有两个夹取臂，两个夹取臂铰接形成两个夹取前臂和两个手持后臂，夹取前臂端部分别连接夹取头，手持后臂端部分别连接把手；两个夹取臂可围绕铰接部位转动；该方法包括以下步骤：(1)打开LPCVD炉，将包括石英舟及基座的附属配件取出，用弥散管夹取器将已损坏弥散管从弥散管支撑架上取出，然后将新弥散管重新安装在弥散管支撑架上；(2)调整弥散管与炉管的间距；(3)安装包括石英舟及基座的附属配件；(4)对炉体进行极限真空检测，以及漏率检测，确认无误后可直接生产。本发明可有效地提升弥散管更换效率并降低弥散管的更换成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 状态 更换 lpcvd 体内 弥散 方法 | ||
【主权项】：
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