[发明专利]一种含锆膜层的单银Low-E膜层的镀膜玻璃在审
| 申请号： | 201811093057.5 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110922062A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 付红 | 申请（专利权）人： | 付红 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225819 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜玻璃表面膜层的防护技术领域，特别涉及一种含锆膜层的镀膜玻璃的制备方法，镀膜玻璃包括玻璃基片、镀于玻璃基片上的功能膜层，镀于功能膜层表面的锆混合掺杂膜层，具体制备过程中在玻璃基片表面磁控溅射沉积一层或多层功能膜系，再在最外层的功能膜系表面磁控溅射沉积一层厚度为25‑30nm的锆混合掺杂膜层；沉积时的靶材为ZrSiAl和SiAl，置于同一溅射腔室内。所述锆混合掺杂膜层材料为SiNx和ZrSiOxNy的混合物，所述SiNx的质量比为50%‑70%，两者总量为100%，所述锆混合掺杂膜层的厚度为25‑30nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含锆膜层 low 镀膜 玻璃 | ||
【主权项】：
暂无信息
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