[发明专利]高阶负型光阻剥膜槽在审
| 申请号： | 201811043114.9 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN110888305A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 王彦智 | 申请（专利权）人： | 王彦智 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 张文婷 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高阶负型光阻剥膜槽，包括用于盛装剥膜液的主槽体，主槽体内设有用于固定待剥膜的基板的挂架和能够使剥膜液产生涡流的摇摆机构；主槽体的上端设有循环槽以及底部设有循环管道，该循环管道从主槽体的外部连通至循环槽，循环管道上设有用于使膜渣和溶液分离的系统马达和用于过滤分离后的溶液的过滤器。该高阶负型光阻剥膜槽通过摇摆机构形成的涡流将光刻胶干膜溶解，使干膜细小化，不仅浸泡时间短，剥膜速度快，产能高，而且对高纵横比/高深宽比的剥膜制程，于基板底部不留干膜，产品良率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 高阶负型光阻剥膜槽 | ||
【主权项】：
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