[发明专利]一种基于金属-介质复合等离激元共振结构的表面增强拉曼活性基底及其制备方法有效
申请号: | 201811040123.2 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN108982474B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 刘桂强;汤莉;刘正奇;刘怡;施雷雷;陈奇齐;唐鹏 | 申请(专利权)人: | 江西师范大学 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65 |
代理公司: | 南昌华成联合知识产权代理事务所(普通合伙) 36126 | 代理人: | 张建新 |
地址: | 330000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及纳米材料学、激光拉曼和生物化学分析检测领域,提供了一种基于金属‑介质复合等离激元共振结构的表面增强拉曼活性基底及其制备方法。该方法包括底层网状金属膜层制备、中间介质层制备、表面增强拉曼活性基底制备、拉曼信号检测等四个步骤,通过磁控溅射沉积法沉积金属膜层,再通过退火形成网状金属膜层结构,然后在网状金属膜层上溅射沉积介质层,最后在介质层上再溅射沉积金属膜层并退火而最终获得所述的表面增强拉曼活性基底。本发明低成本、简单易操作、重复性高、可大面积制备、稳定性强、拉曼散射增强显著。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 金属 介质 复合 离激元 共振 结构 表面 增强 活性 基底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于金属‑介质复合等离激元共振结构的表面增强拉曼活性基底,其特征在于:包括衬底,以及依次设置于衬底之上的底层金属膜层、中间介质层和顶层金属膜层;所述底层金属膜层为网状金属膜层,所述顶层金属膜层为网状金属膜层。
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