[发明专利]用于侦测工艺参数的方法及装置、电子设备和计算机可读介质有效
| 申请号： | 201811030795.5 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110889260B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 杨正杰;姚秀艳;林祐贤 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例提出一种用于侦测工艺参数的方法及装置、电子设备和计算机可读介质，属于集成电路制造技术领域。该用于侦测工艺参数的方法包括：获取待侦测工艺参数；将所述待侦测工艺参数转换成待侦测工艺参数图形；将所述待侦测工艺参数图形输入至训练好的分类模型中，获得所述待侦测工艺参数图形的目标图形类别。通过本公开实施例提供的技术方案，能够提高侦测异常工艺参数的准确率，并实现侦测的自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 侦测 工艺 参数 方法 装置 电子设备 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
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