[发明专利]一种高灵敏度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810986430.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109270126A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陶晓彦 | 申请（专利权）人： | 安徽康佳同创电器有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 239001 安徽省滁州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种高灵敏度传感器及其制备方法，其中，所述方法包括步骤：在烧结体基片表面制备柱状阵列碳纳米管膜；将气敏材料涂覆在所述表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片上，进行烧结处理，得到气敏烧结体；将加热丝放入所述气敏烧结体中，按照旁热式器件常规工艺进行焊接、封装、电老化，制成高灵敏度传感器。本发明通过在烧结体基片表面上制备柱状阵列碳纳米管膜，不仅增加了烧结体基片的比表面积，从而增加气敏材料涂覆在烧结体基片单位面积上的量；进一步地，具有较佳气敏性能的碳纳米管自身还能够和涂覆在其表面的气敏材料发生协同作用，从而有效提升传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结体 高灵敏度传感器 气敏材料 涂覆 阵列碳纳米管膜 基片表面 制备柱 制备 碳纳米管膜 提升传感器 表面生长 常规工艺 烧结处理 碳纳米管 柱状阵列 加热丝 灵敏度 旁热式 放入 封装 焊接 老化 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏度传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤：将烧结体基片放入石英管中，以酞菁铁作为碳源和催化剂，在氩气和氢气的流动气氛中进行加热处理，得到表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片；将预先配制的气敏材料涂覆在所述表面生长有柱状阵列碳纳米管膜的烧结体基片上，进行烧结处理，得到气敏烧结体；将加热丝放入所述气敏烧结体中，按照旁热式器件常规工艺进行焊接、封装、电老化，制成高灵敏度传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽康佳同创电器有限公司，未经安徽康佳同创电器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810986430.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
