[发明专利]激光刻划机及其工艺能力的评测方法

摘要

本申请涉及一种激光刻划机及其工艺能力的评测方法。所述激光刻划机工艺能力的评测方法能够根据所述工艺需求在所述工艺匹配数据中查找并确定激光刻划机的工艺执行数据快速准确的控制激光刻划机工艺参数。所述激光刻划机的控制器获取工艺需求。从所述激光刻划机中获取预存储的所述工艺匹配数据。从所述工艺匹配数据中选取对应所述工艺需求的参数，并使得所述激光刻划机进行激光照射，实现精确的激光刻划工艺。本实施例中的激光刻划机工艺能力的评测方法简单易操作，可以综合考虑多种因素预存储所述工艺匹配数据，快速准确的控制激光刻划机的工艺参数。

主权项

1.一种激光刻划机工艺能力的评测方法，其特征在于，包括以下步骤：S100，获取预存储的工艺匹配数据；S200，获取工艺需求；S300，根据所述工艺需求在所述工艺匹配数据中查找并确定激光刻划机的工艺执行数据；所述工艺匹配数据的获取步骤包括：S110，开启单一激光束进行刻划工艺；S120，获取单一激光束的工艺窗口；S130，重复步骤S110和步骤S120，以得到多个单一激光束的工艺窗口；S140，汇总所述多个单一激光束的工艺窗口的数据，以形成所述工艺匹配数据。