[发明专利]一种同时支持多个半导体材料加工设备的自动传送系统

摘要

本发明涉及一种同时支持多个半导体材料加工设备的自动传送系统，包括进料腔体、手套箱体、装载腔体、传送腔体及卸载腔体，所述手套箱体的一侧开设有进料口，在进料口上设置有进料腔体，与手套箱体相连通设置，所述手套箱体的后端设置传送腔体，且在所述手套箱体和传送腔体之间还设置有装载腔体和卸载腔体，所述装载腔体和卸载腔体在同一轴线设置，且两者互不相通设置，所述装载腔体的两侧上均设置有闸板阀，通过闸板阀与手套箱体和传送腔体相配合设置，所述卸载腔体的两侧上设置有闸板阀，并与传送腔体和手套箱体相配合设置。本发明能减少人员的工作量，还能提高工作效率。

主权项

1.一种同时支持多个半导体材料加工设备的自动传送系统，其特征在于：包括进料腔体（1）、手套箱体（2）、装载腔体（9）、传送腔体（10）及卸载腔体（12），所述手套箱体（2）的一侧开设有进料口，在进料口上设置有进料腔体（1），与手套箱体（2）相连通设置，所述手套箱体（2）的后端设置传送腔体（10），且在所述手套箱体（2）和传送腔体（10）之间还设置有装载腔体（9）和卸载腔体（12），所述装载腔体（9）和卸载腔体（12）在同一轴线设置，且两者互不相通设置，所述装载腔体（9）的两侧上均设置有闸板阀，通过闸板阀与手套箱体（2）和传送腔体（10）相配合设置，所述卸载腔体（12）的两侧上设置有闸板阀，并与传送腔体（10）和手套箱体（2）相配合设置；所述手套箱体（2）内设置有若干片盒架（4）、若干盘盒架（5）、定片台（6）和定盘台（7），所述盘盒架（5）和片盒架（4）邻近于手套箱体（2）内侧设置，所述盘盒架（5）和片盒架（4）相邻设置，所述定片台（6）和定盘台（7）也邻近于手套箱体（2）的内侧，并与盘盒架（5）相对设置，所述定片台（6）和定盘台（7）在同一轴线设置，所述手套箱体（2）上还设置有第一机械手（8），所述第一机械手（8）位于手套箱体（2）的中轴心设置，被片盒架（4）、盘盒架（5）、定片台（6）和定盘台（7）包围，并与片盒架（4）、盘盒架（5）、定片台（6）和定盘台（7）相配合设置，所述手套箱体（2）上还设置有若干手套窗口（3），并分别与片盒架（4）、盘盒架（5）、定片台（6）和定盘台（7）呈一一对应设置。