[发明专利]基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达有效
| 申请号： | 201810927949.4 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN108983197B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张石;李亚锋;鲁佶 | 申请（专利权）人： | 深圳煜炜光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 44372 深圳市六加知识产权代理有限公司 | 代理人： | 向彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于激光雷达技术领域，公开了一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，包括发射激光器、准直光学元件、MEMS微镜阵列及探测器；所述发射激光器发出的探测激光信号通过准直光学元件准直至所述MEMS微镜阵列，经所述MEMS微镜阵列发射至探测目标；探测目标反射的探测激光信号接收至所述探测器；MEMS微镜阵列包括多个小微镜单元，多个小微镜单元呈二维阵列布置，所有小微镜单元均可在三维方向旋转。将单个小尺寸的MEMS微镜替换为大尺寸二维MEMS微镜阵列的设计，可解决MEMS微镜在大尺寸光斑激光雷达的应用限制问题，有助于实现激光雷达的远距离探测。 | ||
| 搜索关键词： | 激光雷达 微镜单元 准直光学元件 发射激光器 三维扫描 探测激光 探测目标 探测器 激光雷达技术 远距离探测 尺寸光斑 二维阵列 三维方向 信号接收 信号通过 二维 反射 替换 发射 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，其特征在于：包括发射激光器、准直光学元件、MEMS微镜阵列及探测器；/n所述发射激光器发出的探测激光信号通过所述准直光学元件准直至所述MEMS微镜阵列，经所述MEMS微镜阵列发射至探测目标；/n探测目标反射的探测激光信号接收至所述探测器；/n所述MEMS微镜阵列包括多个小微镜单元，多个小微镜单元呈二维阵列布置，所有小微镜单元均可在三维方向旋转，每个小微镜单元可以独立控制通过不同的电机完成每个小微镜单元的独立控制,不同的小微镜单元可以设置成不同步扫描，每个小微镜单元均可以实现大角度旋转。/n
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